Industri pengemasan termasuk dalam proses produksi back-end di seluruh produksi IC.Dalam proses ini, untuk IC paket plastik, IC hybrid atau IC monolitik, terutama terdapat penipisan wafer (penggilingan), pemotongan wafer (penggosokan), dan pembebanan inti.(Lembaran perekat), pengelasan tekanan (bonding), pengemasan (enkapsulasi), pra-curing, pelapisan listrik, pencetakan, pasca-pengeringan, pemotongan rusuk, pemasangan tabung, pengujian pasca-penyegelan, dll. Setiap proses memiliki persyaratan yang berbeda untuk lingkungan proses yang berbeda .
Pengaruh faktor elektrostatis pada kemasan IC
Pertama-tama, penyebab listrik statis bisa dilihat di mana-mana.Saat ini, dengan pesatnya perkembangan ilmu pengetahuan dan teknologi serta tingkat otomatisasi yang tinggi dalam produksi industri, bahaya listrik statis dalam produksi industri sudah terlihat jelas.Hal tersebut dapat menyebabkan berbagai kendala, membatasi peningkatan level otomasi dan mempengaruhi kualitas produk.Berikut adalah alasan utama pembangkitan listrik statis berdasarkan situasi sebenarnya dari pabrik kami dalam proses pengemasan dan produksi sirkuit terintegrasi.
1. Bahan konstruksi dan dekorasi di bengkel produksi sebagian besar merupakan bahan tahan tinggi.Proses produksi IC memerlukan penggunaan bengkel bersih atau bengkel ultra bersih.
Ukuran partikel dari partikel penghilang debu harus diubah dari sebelumnya 0,3μm menjadi 0,1μm, dan kepadatan partikel debu sekitar 353 / m3.Untuk tujuan ini, selain pemasangan berbagai peralatan pengumpul debu, bahan anorganik dan bebas debu organik harus digunakan untuk mencegah debu.Namun, kinerja kelistrikan bahan bangunan tidak dianggap sebagai indikator.Tidak ada ketentuan dalam spesifikasi desain untuk bengkel bersih perusahaan industri.Bahan dekorasi interior utama yang digunakan dalam bengkel bersih pabrik IC adalah: lantai elastis poliuretan, nilon, plastik keras, polietilen, kertas dinding plastik, resin, kayu, pelat porselen putih, enamel, plester, dll. Sebagian besar bahan yang disebutkan di atas adalah senyawa polimer atau isolator.Misalnya, resistivitas bodi plexiglass adalah 1012 ~ 1014Ω / cm, dan resistivitas bodi polietilen adalah 1013 ~ 1015Ω / cm, sehingga konduktivitasnya relatif buruk, dan listrik statis karena beberapa alasan tidak mudah bocor ke bumi melalui mereka, mengakibatkan akumulasi listrik statis.
2. Listrik statis tubuh manusia
Gerakan yang berbeda dan berjalan mondar-mandir dari operator ruang bersih, sol sepatu dan tanah terus menerus bersentuhan dan terpisah, dan berbagai bagian tubuh manusia juga memiliki aktivitas dan gesekan.Apakah itu berjalan cepat, berjalan lambat, atau berlari kecil, listrik statis akan dihasilkan, yang disebut muatan berjalan;tubuh manusia berdiri setelah bergerak.Pakaian kerja yang dikenakan oleh tubuh manusia dan permukaan kursi dipisahkan setelah bersentuhan dengan permukaan kursi, dan listrik statis juga akan dihasilkan.Jika tegangan elektrostatis tubuh manusia tidak dapat dihilangkan dan chip IC disentuh, dapat menyebabkan kerusakan IC tanpa disadari.
3. Listrik statis yang disebabkan oleh AC dan pemurnian udara
Karena produksi IC membutuhkan 45-55% RH, AC dan pemurnian udara harus diterapkan.Udara dehumidified dikirim ke ruang bersih melalui filter utama, filter efisiensi sedang, filter efisiensi tinggi, dan saluran udara.Umumnya, kecepatan angin saluran udara utama adalah 8 ~ 10m / s, dan dinding bagian dalam saluran udara dicat.Ketika udara kering dan saluran udara, udara kering dan filter bergerak relatif satu sama lain, listrik statis akan dihasilkan.Perlu diperhatikan bahwa listrik statis lebih sensitif terhadap kelembaban.
Selain itu, pengangkutan barang setengah jadi dan produk IC akan menghasilkan listrik statis selama pengemasan dan pengangkutan yang merupakan salah satu faktor terjadinya listrik statis.
Kedua, kerusakan listrik statis pada IC cukup besar.Secara umum listrik statis memiliki karakteristik medan listrik potensial tinggi dan medan listrik kuat.Dalam proses pengisian dan pengosongan elektrostatis, pelepasan arus tinggi transien dan pulsa elektromagnetik (EMP) kadang-kadang terbentuk, menghasilkan medan radiasi elektromagnetik dengan spektrum yang luas.
Selain itu, dibandingkan dengan energi listrik konvensional, energi elektrostatis relatif kecil.Dalam proses pelepasan elektrifikasi alami, parameter pelepasan listrik statis (ESD) tidak terkendali, dan merupakan proses acak yang sulit diulangi.Karena itu, perannya sering kali dipengaruhi oleh manusia.Diabaikan.Terutama di bidang teknologi mikroelektronika, kerugian yang ditimbulkannya bagi kami sangat mencengangkan.Menurut laporan, kerugian ekonomi langsung yang disebabkan oleh listrik statis mencapai beberapa ratus juta yuan setiap tahun.Listrik statis telah menjadi kendala utama dalam perkembangan industri mikroelektronika.
Di bengkel produksi perangkat semikonduktor, karena adsorpsi debu pada chip, hasil IC, terutama sirkuit terintegrasi skala sangat besar (VLSI), akan sangat berkurang.Operator di bengkel produksi IC memakai overall bersih.Jika tubuh manusia diisi dengan listrik statis, maka debu dan kotoran mudah diserap.Jika debu dan kotoran ini dibawa ke lokasi operasi, ini akan mempengaruhi kualitas produk, menurunkan kinerja produk, dan sangat mengurangi Hasil Ic.Jika radius partikel debu yang teradsorpsi lebih besar dari 100 μm dan lebar garis sekitar 100 μm, bila ketebalan film di bawah 50 μm, produk kemungkinan besar akan dibuang.
Ketiga, kerusakan listrik statis pada IC memiliki karakteristik tertentu.
(1) Penyembunyian Kecuali jika terjadi pelepasan muatan listrik statis, tubuh manusia tidak dapat secara langsung merasakan listrik statis, tetapi tubuh manusia mungkin tidak merasakan sengatan listrik saat terjadi pelepasan muatan listrik statis.Ini karena tegangan pelepasan elektrostatis yang dirasakan oleh tubuh manusia adalah 2 ~ 3kv, sehingga listrik statis disembunyikan.
(2) Potensi Kinerja beberapa sink tidak berkurang secara signifikan setelah rusak oleh listrik statis, tetapi pelepasan kumulatif yang banyak akan menyebabkan kerusakan internal pada perangkat IC dan membentuk bahaya tersembunyi.Oleh karena itu, listrik statis berpotensi merusak IC.
(3) Dalam keadaan apa IC acak dapat mengalami kerusakan elektrostatis?Dapat dikatakan bahwa mulai dari produksi suatu chip IC hingga rusak, semua proses terancam oleh listrik statis, dan pembangkitan listrik statis juga bersifat random.Kerusakannya juga acak.
(4) Analisis kegagalan kerusakan pelepasan muatan listrik statis yang kompleks memakan waktu, padat karya, dan mahal karena karakteristik struktural produk IC mikroelektronik yang halus, halus, dan kecil, memerlukan teknologi tinggi dan seringkali memerlukan penggunaan instrumen yang sangat canggih , meski begitu Beberapa fenomena kerusakan elektrostatis juga sulit dibedakan dengan kerusakan yang disebabkan oleh sebab lain;orang salah mengira kegagalan kerusakan pelepasan muatan listrik statis sebagai kegagalan lain, yang sering dikaitkan dengan kegagalan awal atau kondisi yang tidak diketahui sebelum pemahaman penuh tentang kerusakan pelepasan muatan listrik statis Kegagalan, sehingga secara tidak sadar menutupi penyebab sebenarnya dari kegagalan tersebut.Oleh karena itu, rumit untuk menganalisis kerusakan listrik statis pada IC.
Secara keseluruhan, penting untuk membangun sistem perlindungan elektrostatis dalam proses pemrosesan, produksi, dan pengemasan IC!Jalur produksi pengemasan IC memiliki persyaratan yang lebih ketat untuk listrik statis.Untuk memastikan operasi normal jalur produksi, dekorasi keseluruhan bahan bangunan anti-statis dilakukan di bengkel bersih, dan semua personel yang masuk dan keluar bengkel bersih dilengkapi dengan pakaian anti-statis.Selain mengadopsi ukuran perangkat keras, perusahaan pengemasan dapat mengikuti standar nasional yang relevan dan situasi perusahaan yang sebenarnya.Situasi telah merumuskan standar perusahaan atau persyaratan khusus dalam hal anti-statis untuk bekerja sama dengan operasi normal jalur produksi kemasan IC.Dengan perluasan jalur pengemasan IC negara saya, peningkatan kemampuan pengemasan, peningkatan varietas pengemasan, dan persyaratan yang lebih tinggi untuk kualitas dan hasil produk, sejalan dengan itu, berbagai persyaratan perangkat lunak dan perangkat keras dan kesadaran perlindungan elektrostatis untuk semua praktisi Penguatan bahkan lebih penting, dan ini juga berperan sebagai "peran utama" dan "pembunuh tak terlihat" yang mempengaruhi kualitas produk kami.Oleh karena itu, perlindungan elektrostatis akan menjadi masalah utama di seluruh industri IC saat ini dan di masa depan.
